仪器型号:Scanning Probe Microscpe所属单位:西安交通大学重点建设与条件保障处试验室管理科制造厂商:美国维易科公司生产国别:美国购置日期:当前状态:对外服务主要技术指标:主要技术指标:扫描范围:65um×65um(XY),5um(Z) 扫描分辨率:0.2nm(XY),0.01nm(Z);扫描工作频率1-1.5Hz,512线扫描。样品台大小:直径100mm。功能应用范围:Dimension 3100 SPM使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术,可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据处理能力。具有接触式和轻敲模式两种原子力模式,同时还具有表面势、磁性、扫描电容以及扫描隧道显微镜等相应的功能附件。
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